MKS质谱分析仪保养和维修

      MKS质谱分析仪保养和维修:很多时候，残留气体分析仪需要在恶劣的环境中运行以分析或控制过程。尽管采用了先进的保护控制措施，但也会无意中暴露于大气、泵油或其他污染物中。MKS 质谱过程系统具有市场上最先进的保护算法，但它们确实具有可能被无意误用的手动覆盖。

      MKS 质谱分析仪的设计使客户可以在现场轻松清洁和维修。无需任何特殊工具或夹具即可使用预先对齐的模块快速更换灯丝。离子源可以作为一个单元在几分钟内拆卸下来进行清洁或更换。甚至可以更换通道电子倍增器，无需点焊设备。以下页面显示了分析仪的拆卸过程。

      与市场上的其他 RGA 系统相比，这种设计优势和灵活性将显着降低运营成本并增加正常运行时间。如果需要较长的正常运行时间，或者如果分析仪在需要持续清洁离子源的环境中使用，则建议使用备用离子源。该备用源可以与污染源交换，分析仪将在大约 15 分钟内准备好再次运行。

      MKS 应用支持和客户支持小组将为残余气体分析仪提供任何级别的完整培训。这包括在预防性维护、日常维修以及正常操作和数据收集方面的完整培训。还提供更高级的理论、操作和数据解释培训。应用支持小组还可以与客户合作开发工艺配方和其他方法，以充分利用 RGA 功能并为 RGA 和工艺系统提供卓越的正常运行时间。

      灯丝更换：

      使用预先对齐的灯丝组件快速简便。

      MKS 分析仪上的双独立灯丝可以通过卸下两个筒连接器并松开两个固定螺钉轻松更换。然后可以移除镜像灯丝板并用新的套件替换。灯丝安装在灯丝板上并预先对齐，以便于处理。除 UHV 版本外，所有 MKS 离子源都使用相同的灯丝组件，以最大限度地减少所需的备件库存。

      离子源去除：

      清洁或更换以去除污染

      通过断开灯丝引线可以在一个模块中移除完整的离子源，然后使用安装套件中提供的 1.5 毫米六角扳手，可以松开连接源的电线和源固定螺钉。此时可以移除并清洁或更换整个源。该手册提供了源清洁的详细说明。

      质量过滤器盖：

      拆下以接触杆组件。

      可以拆下质量过滤器的盖子，以便对过滤器进行清洁。必须拆除与杆的电气连接以及盖子底部的螺钉。然后盖子滑过杆组件。此时可以对杆组件进行清洁。有关质量过滤器清洁的更多详细信息，请咨询 MKS 客户支持小组。

      警告！！
      任何时候都不得拆卸质量过滤器组件。否则，可能需要昂贵的工厂重新调整！

      乘数替换：

      移除质量过滤器组件以访问倍增器

      可以移除完整的质量过滤器组件以访问通道电子倍增器。然后可以在不需要特殊工具或点焊设备的情况下更换倍增器组件。